容器組件

干涉式同軸 3D 位移測(cè)量儀

  • 產(chǎn)品名稱:干涉式同軸 3D 位移測(cè)量儀
  • 產(chǎn)品型號(hào):WI-5000 系列
  • 產(chǎn)品廠商:KEYENCE基恩士
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簡單介紹

干涉式同軸 3D 位移測(cè)量儀

的詳細(xì)介紹
KEYENCE基恩士   干涉式同軸 3D 位移測(cè)量儀  WI-5000 系列 電/微   詳詢   趙13062644508

KEYENCE基恩士   干涉式同軸 3D 位移測(cè)量儀  WI-5000 系列 電/微   詳詢   趙13062644508


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采用白光干涉原理,可實(shí)現(xiàn)高速、高精度的3D測(cè)量。支持從高度差/體積測(cè)量等的測(cè)量到寬度/面積等各種測(cè)量。

產(chǎn)品特性

并非以點(diǎn)線測(cè)量,而是以“面”進(jìn)行測(cè)量
針對(duì)*大 10 × 10 mm 的測(cè)量區(qū)域,可瞬間獲取 8 萬個(gè)點(diǎn)的高度。 由于采用白光干涉原理,不受材質(zhì)/顏色、死角的影響,實(shí)現(xiàn)了微米級(jí)的高精度測(cè)量。


在線實(shí)現(xiàn)高速全數(shù)檢測(cè)
測(cè)量多點(diǎn)時(shí),需要高精度且高速掃描目標(biāo)物。 因此,會(huì)將時(shí)間浪費(fèi)在移動(dòng)載物臺(tái)上,不易進(jìn)行全數(shù)檢測(cè)。 由于 WI-5000 系列是以面進(jìn)行同時(shí)測(cè)量,因此可大幅縮短測(cè)量時(shí)間,實(shí)現(xiàn)全數(shù)檢測(cè)。

大幅削減離線檢測(cè)工時(shí)
為了用于離線檢測(cè),備有可固定傳感器頭的專用底座。 配備可削減檢測(cè)工時(shí)的各種實(shí)用功能。 改善從簡易測(cè)量到保存數(shù)據(jù)等各種情況的可操作性。
  1. 工作原理:采用白光干涉原理,同軸設(shè)計(jì),實(shí)現(xiàn)高精度 3D 測(cè)量。
  2. 主要特點(diǎn)
    • 高速測(cè)量:0.13 秒內(nèi)獲取 8 萬點(diǎn)數(shù)據(jù)。
    • 高精度:微米級(jí)精度,不受材質(zhì)、顏色影響。
    • 面測(cè)量:無需移動(dòng)載物臺(tái),適合在線全檢。
    • 離線檢測(cè):配備底座,減少工時(shí)。
  3. 技術(shù)參數(shù)
    • 測(cè)量區(qū)域:*大 10×10mm。
    • 分辨率:高度、粗糙度等參數(shù)的*小顯示單位為 0.1μm。
    • 輸出接口:多種數(shù)字和模擬接口,支持 Ethernet、USB 等。
  4. 型號(hào)及應(yīng)用
    • 控制器型號(hào) WI-5000,支持 1 個(gè)測(cè)量頭。
    • 應(yīng)用案例包括晶圓檢測(cè)、BGA 端子高度測(cè)量。
  5. 環(huán)境適應(yīng)性
    • 溫度范圍 0-45°C(DIN 導(dǎo)軌安裝)。
    • 防護(hù)等級(jí)未明確,但提到耐環(huán)境光照等。
  6. 電氣特性
    • 電源 24VDC,電流消耗 2.7A。
    • 輸出類型包括光 MOSFET、RS-232C、Ethernet 等。




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